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半導體實驗室氣路設計理念
安全理念,我們做到了對實驗設備可能產生的有害廢氣、廢水進行特殊設計、處理,保障實驗人員的身體健康;在安全出口方面考慮到的都是根據具體情況設計的zui短的逃生路線,優(yōu)化洗眼器及緊急沖淋裝置的位置,增加了發(fā)生以外事故的逃生幾率,減少了突發(fā)情況
合理的布局,對實驗室家具、介質系統進行正確設計、合理選材、規(guī)范施工 ,根據人體工程學原理,生產出zui人性化的設備,符合絕大部分人的要求。同時在通風設施上的安裝布局都是按照標準來執(zhí)行的,保證了實驗人員有一個良好的工作環(huán)境。
半導體實驗室氣路
近年來實驗室投資的不斷加大,儀器設備的迅速增加,用氣量也逐年增加,傳統的供氣模式已經難以滿足儀器設備增加的需求,同時分散供氣模式帶來的實驗室布局混亂,鋼瓶的頻繁更換也對實驗室的管理和維護造成了困難,為了解決以上兩個方面的問題,就需要一套安全性高且能實現集中分配供氣的系統完成從氣源向儀器的供氣,這就是實驗室高純氣體管道系統的功能所在。
實驗室氣體采用集中供氣方式,由實驗室外專用供氣區(qū)域用管路引進。除了潔凈空氣由空氣壓縮系統直接產生外,其余氣體都是采用高壓氣瓶供氣。每種氣體都要有主供和備供氣瓶,并安裝自動切換面板進行供氣控制,保證不間斷供氣。另外主要的控制閥門和減壓閥門都應安裝在實驗室外。實驗室氣體由不銹鋼管路輸送,一般1.5米內并必須有支架固定在墻面。在實驗室內所有管路安裝在天花板下方,沿墻進行明設。所有管路標明連接的氣體。氣體管路每隔1.5米的距離,都要有明確標示,同時指示氣體的流向。所有減壓器都需要連接一條通出氣體存藏區(qū)的排氣管路。易燃、氧化氣體排氣管路不能并在一起。所有設計和施工必須符合相關的規(guī)范和要求,如:《科學實驗室建筑設計規(guī)范》–JGJ 91-93;《氫氣使用安全技術規(guī)程》-GB 4962-1985;《現場設備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范》-GB50236-1998。
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